Тезисы VII конференции "Аналитика Сибири и Дальнего Востока - 2004"
»
Устные доклады
» Секция 1. Химические и физико-химические методы
» ...
ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЕ АНАЛИЗАТОРЫ
ДИОКСИДА АЗОТА
И.А. Кировская, О.А. Федяева, Е.В.
Миронова
Омский государственный
технический университет
На протяжении ряда
лет на кафедре Физической химии ОмГТУ
формируется и совершенствуется метод
оперативной диагностики и контроля,
базирующийся на системе
полупроводниковых датчиков,
избирательно чувствительных к
определенному газу [1]. Среди них
интерес представляют и созданные
недавно оригинальные пьезорезонансные
датчики на микропримеси NO2,
газочувствительные элементы которых
изготовлены из теллурида кадмия и
твердого раствора (InSb)xCdTe)1-x.
Созданию таких датчиков
предшествовали работы по синтезу
твердых растворов и получению пленок,
исследованию адсорбционных свойств
пленок по отношению к NO2 в
присутствии других газов при различных
температурах и давлениях и в итоге
выявлению оптимальных условий для
высокой и избирательной адсорбционной
активности (рис.1).
Работа датчиков
основана на адсорбционно-десорбционных
процессах, протекающих на
полупроводниковой пленке и вызывающих
изменение частоты (D f) пьезокварцевого
резонатора (рис.2).
Рис. 1. Температурная зависимость
адсорбции NO2 на CdTe (Р0=10,6 Па)
Рис. 2. Градуировочная кривая df - PNO2
Как следует из
анализа градуировочных кривых,
выражающих зависимость df от содержания
диоксида азота (PNO2), названные
датчики при существенном упрощении
технологии изготовления позволяют
определять содержание диоксида азота с
чувствительностью, в несколько раз
превышающую чувствительность
известных датчиков [1,2]. Их малые
габариты (рабочий объем менее 0,2 см3)
в сочетании с малой массой пленки-адсорбента
обеспечивают снижение постоянной по
времени до 10-20 мс. В конструкции
датчиков заложены также возможности
улучшения и других характеристик.
1. Кировская И.А.
Поверхностные явления. Омск: ОмГТУ, 2001.
– 175 с.
2. Патент № 2143677,1999 / В.Ф.Марков,
Л.Н.Маскаева и др.
|
