Тезисы VII конференции "Аналитика Сибири и Дальнего Востока - 2004" »
Пленарные лекции » ...
АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ:
ВОЗМОЖНОСТИ ФИЗИЧЕСКИХ МЕТОДОВ
А.И. Боронин
Институт катализа им. Г.К.
Борескова. проспект академика
Лаврентьева 5, Новосибирск 630090
e-mail: boronin catalysis.nsk.su
Анализ
поверхности твердых тел является
необходимой составной частью
исследований в целом ряде областей
науки и техники, таких как физика
полупроводников и микроэлектроника,
коррозионные и теплозащитные покрытия,
гетерогенный катализ, технологии
синтеза наноматериалов и т.д.
Интенсивность аналитических
исследований поверхности значительно
возросла в последние 10-20 лет в связи с
инструментальным развитием методов,
основанных как на известных, так и
новых физических эффектах.
В данной лекции
рассматривается современное состояние
в области применения методов анализа
поверхности, использующих различные
физические принципы и явления.
Основное внимание уделяется методам,
основанным на энергетическом анализе
рассеянных электронов, ионов и фотонов
при их воздействии на поверхность
твердых тел. Проводится классификация
методов по типу зондирующих излучений
и механизму анализа рассеянных
излучений и частиц. Приводятся примеры,
показывающие аналитические
возможности современных методов
анализа поверхности, где в качестве
зондирующего излучения применяется
синхротронное излучение.
Определенное
внимание уделяется методам
деструктивного и недеструктивного
воздействия на поверхность
анализируемого образца, показаны
возможности современных методов,
используемых при построении
концентрационного профиля элементов
по глубине образца.
Наряду с
представлением физических основ и
конкретных вариантов реализации
методов обсуждается их аппаратурное
оформление, рассматривается их
чувствительность и селективность, а
также принципиальные ограничения и
возможности. Обсуждаются факторы,
управляющие конкретной методикой,
рассматривается роль основных
параметров и варианты методов.
|
