| Российский химико-аналитический
портал |
химический анализ и аналитическая химия в фокусе внимания ::: портал химиков-аналитиков ::: выбор профессионалов |
 |
|
| ANCHEM.RU » Форумы » 4. Химический форум ... |
 |
фосфатирование (фосфорирование) кремниевой пластины >>>
|
 |
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
 27.11.2010 // 23:00:53
интересно, какая у полифосфорной вязкость (в смысле как ее наносить)...по-моему достаточно вязкая.........при нагревании до прибл. 1000 град интересно что будет. P2O5 будет улетать, но вода должна еще быстрее...интересно, что останется в результате на пластине |
||
|
ANCHEM.RU Администрация Ранг: 246 |
|||
|
chemlab Пользователь Ранг: 409 |
28.11.2010 // 19:37:18
Вязкость у ПФК примерно как у киселя, с ростом температуры падает, с добавлением P2O5 увеличивается, так что можно подобрать желаемую. Наносить можно путем окунания или окрашивания. При нагревании до 1000 град. сначала улетит вся вода, потом начнет испаряться P2O5, т.е. картина будет такой, как будто наносили только P2O5 (который, однако, равномерно не нанесешь). На поверхности должны остаться фосфаты, т.к. горячая ПФК разъедает стекло. Если равномерности не получится, то можно пропитать ПФК, например, бумагу, или другой пористый полимер, не содержащий нелетучих элементов, при 1000 град. он полностью сгорит, оставив фосфорный налет. |
||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
29.11.2010 // 0:02:05
полифосфорная кислота интересный вариант...вязкость высокая, но центрифугированием, наверно, растянуть по пластине можно. Только вот при отжиге не улетит ли весь P2O5 вместе с водичкой. |
||
|
chemlab Пользователь Ранг: 409 |
29.11.2010 // 1:12:05
Может и улятит, надо попробовать. |
||
|
DSP007 VIP Member Ранг: 2228 |
29.11.2010 // 11:46:47
А пластина кремния естественно "кристалл как металл", а не пористая? Есть еще идея- не намазывать, а окунать в расплав пятиокиси фосфора. Потребуется правда температура в 500 С и давление, но чего не сделаешь... |
||
|
Каталог ANCHEM.RU Администрация Ранг: 246 |
|
||
|
chemlab Пользователь Ранг: 409 |
29.11.2010 // 12:00:58
Интересная идея, только оборудование и сырье будет дорогим  . Но, почти уверен, что для конторы offfday это не помеха 
|
||
|
sinthetic Пользователь Ранг: 3569 |
29.11.2010 // 15:28:03
А если попробовать к фосфату добавить плавиковки и, возможно, мизерное количество окислителя? |
||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
29.11.2010 // 19:11:55
в принципе гомогенный состав полифосфор.к-та+P2O5 можно нанести методом центрифугирования (растянуть по пластине). Ну а насчет расплава и давления вы переборщили..... |
||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
29.11.2010 // 19:59:51
Как вы оцените следующее: гидролизующееся пленкообразующее вещество (например, тетраэтоксисилан, Si(OC2H5)4), растворенное в органических полярных жидкостях, под действием незначительных количеств влаги превращается в результате гидролиза в нерастворимое, формирующее пленку вещество и вещество, остающееся в исходном растворе (что за вещества блин?). Раствор, содержащий вещества с легирующими пленку добавками (тоже в виде гидролизующихся соединений), может быть нанесен на покрываемую пленкой поверхность кремниевой пластины методом центрифугирования (как фоторезист) или пульверизацией. Этот растворный способ получения пленок ФСС и БСС, содержащих диффузант, имеет целый ряд преимуществ: высокая точность дозировки примеси в окисле и возможность плавной регулировки поверхностной концентрации примеси в кремнии за счет изменения ее в источнике; высокая однородность толщины пленки от пластины к пластине в партии пластин; малая длительность процесса нанесения источника, простота и недефицитность используемого оборудования. Преимущества данного способа заключаются еще и в том, что процесс нанесения источника диффузии проходит при низких температурах (нанесение пленки осуществляется при комнатной температуре, ее сушка при температурах порядка 60 °С), и в том, что изменение количества и содержания легирующих примесей в источнике может быть легко осуществлено изменением состава исходной растворной композиции с сохранением всех остальных операций нанесения источника неизменными. |
||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
29.11.2010 // 20:10:07
А если взять кристаллический P2O5 и какой-нибудь материал в виде производных винила, которые деполимеризуются при повышенной температуре (типа как инертный наполнитель)...только на практике хз как это применить... |
| |
||
|
Ответов в этой теме: 27
|
||
| ЖУРНАЛ | ЛАБОРАТОРИИ | ЛИТЕРАТУРА | ОБОРУДОВАНИЕ | РАБОТА | КАЛЕНДАРЬ | ФОРУМ |
| Copyright © 2002-2022 «Аналитика-Мир профессионалов» |
|
Размещение рекламы / Контакты |
[]
