Тезисы VII конференции "Аналитика Сибири и Дальнего Востока - 2004"
»
Устные доклады
» Секция 3. Электрохимические методы
» ...
Методы и средства аналитического обеспечения планарного производства
изделий электронной техники
Т.И.Хаханина1, В.И.
Косинцев2, Н.Г.Пустовойтова2
Московский Государственный
институт электронной техники 103498,
Москва, Зеленоград, МГИЭТ
Томский политехнический университет
634034, Томск, пр. Ленина, 30. E-mail: kem  tpu.ru
Разработка
систем метрологического и
аналитического обеспечения
производства изделий электронной
техники (ИЭТ), их стандартизации,
сертификации и обеспечения качества
производства в соответствии с
международными стандартами невозможны
без создания системы контроля качества
технологических сред, являющихся
ключевыми при разработке,
осуществлении и оценке эффективности
разработок ИЭТ.
Коллективом
ученых ТПУ и специалистов ГНЦ НПК «Технологический
центр» МГИЭТ в данном направлении было
достигнуто следующее:
Разработаны новые методы
высокочувствительного (на уровне
международных норм, т.е. 0,01-10 ppb)
экспрессного анализа материалов
электронной техники, а именно ИВ-методики
количественного химического анализа.
Разработан многоканальный
вольтамперометрический анализатор,
выполненный на базе IBM PC и реализующий
новейшие релаксационные методы.
На предприятиях
Департамента радиоэлектроники и
приборостроения Министерства
экономики России внедрены
вольтамперометрический анализатор,
выполненный на базе IBM PC, и методики
количественного химического анализа
по определению токсичных металлов в
сточных водах и других объектах
окружающей среды.
Практика внедрения и
использования данных разработок для
серийных анализов аналитических
служб предприятий показала, что
имеющиеся в настоящее время в
отраслевых ЦЗЛ методики ГОСТа и ОСТа
уступают разработанным по важнейшим
параметрам: чувствительности,
экспрессности, сложности и
длительности процесса
пробоподготовки, прецизионности
аналитического оборудования.
|
