Вторично-ионный масс-спектрометр
PHI-6300

Вторично-ионный масс-спектрометр успешно применяется для анализа многих материалов, таких как полупроводники, композиты, термопластики, сверхпроводящая керамика . Высокая чувствительность метода и способность определять все элементы и их изотопы делает ВИМС незаменимым инструментом для анализа поверхности и тонких пленок.
Прибор PHI-6300 совмещает все преимущества метода с полностью автоматизированной системой для быстрого и эффективного решения поставленных задач.
Для анализа используются два типа ионных пушек с жидким цезием Сe⁺ и дуоплазматрон-О⁺. Эти источники обеспечивают высокую плотность тока от 50 мА/см² и выше для динамического профильного анализа и низкую от 5 нА/см² для статического ВИМС-анализа на поверхности.
Малый размер анализируемой площади позволяет использовать прибор в режиме ионного микроскопа.