Сканирующий Оже-микрозонд
SAM PHI-4300

Эта компактная недорогая установка сочетает в себе возможности хорошего Оже-микроскопа с диаметром пучка 500 Å и анализатора тонких пленок с системой ТВ-изображения и высокой элементной чувствительностью. Полностью безмаслянная откачка позволяет обеспечить вакуум в тест-камере лучше чем 5·10^-10 торр. Классическая 10 кВ электронная пушка с катодом LaB6 коаксиально расположена в анализаторе типа цилиндрическое зеркало с высоким пропусканием и разрешением по энергии 0.3%. Такая конструкция позволяет прибору избежать эффектов затенения, обеспечить эффективный сбор сигнала и точную юстировку образца.
В режиме анализа тонких пленок (Оже-профилирования), благодаря применению патентованной системы вращения образца во время анализа (Zalar rotation) и высокоэффективной пушке для эффективного распыления обеспечиваются возможности для снятия профилей с высоким разрешением по глубине в слоях толщиной до нескольких микрон.